Cleaning device for organo-mineral composite

유무기 복합 세정장치

  • Inventors:
  • Assignees: (주)케이씨이앤씨
  • Publication Date: February 18, 2011
  • Publication Number: KR-101016418-B1

Abstract

본 발명은 유무기 복합 세정장치에 관한 것으로, 본 발명 유무기 복합 세정장치는 세정대상물의 표면에 고압의 스팀을 분사하여 유기물을 용해시키는 고압스팀 세정부와, 상기 유기물이 제거된 세정대상물에 초음파를 포함한 정화된 건조공기를 분사하여 무기물을 제거함과 아울러 건조시키는 초음파 세정부와, 상기 고압스팀 세정부 및 상기 초음파 세정부에 의해 상기 세정대상물의 표면에서 이탈한 수분을 포집하여 상기 고압스팀 세정부로 순환시키는 포집순환부를 포함한다. 이와 같은 구성의 본 발명은 스팀을 이용하여 유기물을 제거한 후, 건식 초음파를 이용하여 무기물을 제거함으로써, 최소한의 수분을 사용하여 유기물과 무기물을 모두 제거할 수 있게 되어, 장치의 크기를 최소화하고, 기존의 수세의 경우와 같이 세정 작업 후 잔여 수분의 후처리를 위한 고가의 장비를 사용하지 않아도 되기 때문에 운영비용을 절감할 수 있고, 장치의 정기점검항목의 수를 줄이고, 소모성 부품의 사용을 줄여 관리비용을 절감할 수 있는 효과가 있다. 스팀, 세정, 고압

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2004209456-AJuly 29, 2004Toto Ltd, 東陶機器株式会社スチーム洗浄装置
    KR-20000008734-AFebruary 15, 2000윤종용, 삼성전자 주식회사Wafer cleaning apparatus having cleaning solution recurring and filtering functions

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle