Inspection head supporting structure in surface inspecting apparatus, and surface inspecting apparatus

표면 검사 장치에 있어서의 검사 헤드의 지지 구조 및 표면검사 장치

Abstract

검사 헤드의 베어링 하우스와 헤드 지지통 사이에 한 쌍의 앵귤러 콘택트 베어링을 설치하고, 베어링의 외륜 사이에는 스페이서 및 스프링받이 링을 설치한다. 스페이서 및 스프링받이 링을 코일 스프링에 의해 외륜측으로 압박한다. 스페이서와 베어링의 외륜 사이에 O 링을 배치하고, 그 외주를 베어링 하우스의 내주에 밀착시킨다. 베어링 하우스 내의 단차부와 검사 헤드에 비틀어 넣어지는 엔드 캡에 의해 외륜을 구속한다. 엔드 캡을 분해하여 베어링 하우징과 주축부를 베어링 상으로부터 일체적으로 빼내기 가능해진다. 또한, 검사 헤드가 구동 기구에 설치되는 헤드 본체와, 그 헤드 본체에 대하여 착탈 가능하게 설치되며 또한 미러를 유지하는 유지부을 구비한다. 검사 헤드, 베어링, 외륜, 미러, 유지부

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Patent Citations (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-H11281582-AOctober 15, 1999Tb Optical Kk, ティービーオプティカル株式会社Surface inspection apparatus
    JP-S6216460-UJanuary 31, 1987

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