Method for imprinting dual side using roll stamps

롤 스탬프를 이용한 양면 임프린트 방법

Abstract

롤 스탬프를 이용한 양면 임프린트 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 롤 스탬프를 이용한 양면 임프린트 방법은, 외주에 패턴 스케일(21)이 형성되고 자외선을 조사할 수 있는 자외선램프(30)가 설치된 두 롤 스탬프(20, 20) 사이로, 자외선 조사에 의해 경화될 수 있는 자외선 레진(11)이 양면에 코팅된 기판(10)을 선접촉 방식으로 이송시킴으로써, 상기 기판(10)과 회전하는 상기 롤 스탬프(20)들과의 선접촉으로 상기 양쪽 자외선 레진에 상기 패턴 스케일(21)에 의한 패턴이 형성되고, 이 부분이 상기 롤 스탬프(20)들 사이로 빠져 나오면서 상기 자외선램프(30)에 의한 자외선 조사로 경화되도록 한다. 이에 따르면, 기판의 양면을 동시에 임프린트할 수 있음은 물론 기판을 연속적으로 임프린트할 수 있으므로, 임프린트를 요하는 제품의 생산성 향상과 제조원가를 절감할 수 있는 효과가 있다. 롤스탬프, 임프린트, 기판, 자외선, 경화, 레진, 고분자박막, 패턴

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    KR-20030077598-AOctober 01, 2003일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드반도체의 마이크로구조에 대한 자외선 레이저 절제 패터닝

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle