인-라인 스퍼터링 장치용 코팅물 설치틀

  • Inventors:
  • Assignees: (주)시엘씨파이켐
  • Publication Date: November 20, 2009
  • Publication Number: KR-100927796-B1

Abstract

본 발명은 인-라인 스퍼터링 장치용 코팅물 설치틀에 관한 것으로서, 특히 인-라인 스퍼터링장치(101)로 코팅물(A)을 설치/이송토록 하는 사각형상의 코팅물 설치틀에 있어서, 상기 설치틀(1) 중심 세로 방향으로 내부에 회전축(21)이 축설된 회전축설치프레임(2)을 구성함과 동시에 그 회전축설치프레임(2)에 코팅물설치프레임(3)을 등 간격으로 다수개 마련하여, 상기 회전축설치프레임(2)의 회전축(21) 상에는 일정한 간격을 두고 회동롤러(22)를 설치하고, 상기 코팅물 설치프레임(3)에는 하부로 회전롤러(32)를 가지는 다수개의 지그설치대(31)를 회전베어링(31')으로 축설하여, 상기 회전축(21)의 회동롤러(22)와 다수개의 지그설치대(31)의 회전롤러(32)를 각각 회전벨트(4)로 연결구성시켜 회전축(21)에 의해 다수개의 지그설치대(31)가 동시에 회전되도록 하되, 상기 회전축(21)의 회동롤러(22)는 회전축설치프레임(2) 일측에 마련된 피동롤러(23)와 회전벨트(4)로 연결시킴과 동시에 피동롤러(23) 상부의 피동기어(24)를 일측 회전롤러(32)의 회전기어(32')를 치합시켜 회전축(21)의 회전력이 다수개 회전롤러(32)에 전달되도록 하고, 상기 회전축(21) 하단부로는 회전모타(5)를 설치하여 회전축(21)을 회전토록 함을 특징으로 한다. 인-라인 스퍼터링장치, 코팅, 구동장치, 회전모타

Claims

Description

Topics

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    Patent Citations (2)

      Publication numberPublication dateAssigneeTitle
      JP-S6362875-AMarch 19, 1988Kobe Steel LtdVacuum film forming device
      KR-100248703-B1April 01, 2000최효병, 대한중석주식회사The coating apparatus for tool

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      Publication numberPublication dateAssigneeTitle