Line narrowing unit with flexural grating mount

만곡 격자 마운트를 구비한 라인 내로우잉 유닛

Abstract

고 에너지 레이저 빔을 산출하는 레이저를 라인 내로우잉하기 위한, 격자 기반 라인 내로우잉 디바이스가 개시된다. 격자와 하우징 구조 사이의 상이한 열 팽창에 의해 유발된 격자상의 응력을 사실상 제거하는 만곡 격자 마운트가 제공된다. 두껍고 극히 낮은 열 팽창의 유리 기판상의 매우 얇은 알루미늄으로 구성된 격자가 만곡 격자 마운트를 사용하여 알루미늄 하우징 구조에 부착되어 있다. 적어도 하나의 만곡 조인트가 기판의 열 팽창 및 수축을 허용하는 격자 마운트내에 제공된다. 특정 실시예에서, 마운트는 금속 플레이트를 포함하고 만곡 조인트는 금속 플레이트내에 기계가공된 4개의 레그(126)를 구비한 H-만곡 조인트(124)이다. 다른 실시예에서, 2개의 H-만곡 조인트가 제공된다. 다른 실시예에서, 만곡 조인트는 마운트의 일단부가 타단부에 대하여 슬립핑될 수 있도록 하는 도브테일 조인트이다. 격자, 라인 내로우잉 디바이스, 만곡 격자 마운트, 열팽창계수, 금속 플레이트, H-만곡 조인트, 도브테일 조인트

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Patent Citations (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    US-5095492-AMarch 10, 1992Cymer Laser TechnologiesSpectral narrowing technique
    US-6295399-B1September 25, 2001Lucent Technologies Inc.Non-linear temperature compensating device for fiber gratings and a package therefor

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